化学气相沉积cvd一体机-比较正规的买球软件

1.炉体与控制系统集成一体化，使试验方便快捷直观。

2.配置浮子流量计或质量流量计混气气路，可以单独设置气体流量。

3.精确pid程序多段控制，实现不同工艺多段温度时间监控。

4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料，保温效果极佳。

5.配备机械泵或分子真空泵，可以实现不同的真空条件。

产品型号

nbd-t1700-80tig3z

工作温度

≤1650℃

加热区尺寸

310mm

升温速率

≤20℃/min

电气规格

ac 220v  4.5kw

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；
2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；
4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；
5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。

气体系统（可选购）

流量计类型

浮子流量计

质量流量计

管道示意图

进气接口数量

2、3、4（多路可选）

流量范围

20-200/60-600l/min(多量程可选)

50/100/200sccm(多量程可选)

工作压差范围

0-0.15mpa

低真空系统（可选购）

真空泵型号

nbd-1.5c

nbd-3c

nbd-4c

抽气速率

1l/s

3l/s

4l/s

进排气口尺寸

φ8mm宝塔接头

φ8mm宝塔接头

kf16/25

极限压力

1000pa

100pa

10pa

工作温度

5-40℃

电气规格

ac220v

分子泵高真空系统

（可选购）

分子泵系统型号

nbd-103(a)

nbd-103(b)

nbd-103(c)

抽气速率

110l/s

600l/s

700l/s

真空测量计

复合真空计

极限压力

10^-3pa

10^-4pa

10^-5pa

工作温度

5-40℃

电气规格

ac 220v

ac 220v

ac 380v

* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746