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发布时间：2017-11-16 浏览次数：4462
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设备简介： 化学气相沉积(cvd)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用非常广泛的用来沉积薄膜材料的技术，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的cvd镀膜系统，适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域；
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配置详情
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nbd-101e嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，非线性式样温度修正；
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产品型号 |
nbd-o1200-xti（炉管直径50、60、80、100mm可选） |
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工作温度 |
≤1150℃ |
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加热区尺寸 |
440mm |
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升温速率 |
≤20℃/min |
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电气规格 |
ac 220v 4kw |
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气体系统（可选购） |
流量计类型 |
浮子流量计 |
质量流量计 |
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管道示意图 |
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进气接口数量 |
2、3、4（多路可选） |
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流量范围 |
20-250/20-800ml/min(多量程可选) |
50/100/200sccm(多量程可选) |
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工作压差范围 |
0-0.15mpa |
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低真空系统（可选购） |
真空泵型号 |
nbd-1.5c |
nbd-3c |
nbd-4c |
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抽气速率 |
1l/s |
3l/s |
4l/s |
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进排气口尺寸 |
φ8mm宝塔接头 |
φ8mm宝塔接头 |
kf16/25 |
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极限压力 |
1000pa |
100pa |
10pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
ac220v |
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高真空系统（可选购） |
真空泵型号 |
nbd-103(a) |
nbd-103(b) |
nbd-103(c) |
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抽气速率 |
110l/s |
600l/s |
700l/s |
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真空测量计 |
复合真空计 |
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极限压力 |
10^-3pa |
10^-4pa |
10^-5pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
ac 220v |
ac 220v |
ac 380v |
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* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746 |
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